小型PECVD系統(tǒng)

該型號PECVD為成儀最新款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，觸摸屏集中一鍵控制，實驗證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強大。

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技術(shù)參數(shù)

PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，普通CVD設(shè)備的沉積溫度大多在900℃左右，而在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應(yīng)，可以使化學(xué)氣相沉積的溫度降到400℃左右，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。

該型號PECVD為成儀新款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，觸摸屏集中一鍵控制，實驗證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強大。

主要特點：

管內(nèi)真空度自動平衡——管內(nèi)真空度實時監(jiān)測，自動平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號PECVD的AIO控制系統(tǒng)會通過真空泵的自動啟停來維持用戶設(shè)定的管內(nèi)真空度，使成膜效果達更好的均勻性。
AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；
智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，自由切換，省時省力；
射頻功率的定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運行；
爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度和距離，在沉積結(jié)束后爐膛可自動移開沉積區(qū)，使樣品快速冷卻；
整機結(jié)構(gòu)融為一體——整機長度只有1.5米，移動方便，避免分散組裝的困擾。

詳細參數(shù)：

	加熱爐部分
1	爐膛模式	開啟式可移動爐膛
2	顯示模式	7英寸觸摸屏
3	極限溫度	1200℃
4	工作溫度	≤1150℃
5	升溫速率	建議10℃/Min Max：30℃/Min
6	爐體移動	有，速度可調(diào)
7	單溫區(qū)長度	主溫區(qū)長度：200mm（可選配氣體預(yù)熱部分）
8	爐管規(guī)格	60*1150 mm
9	控溫精度	±1℃
10	密封方式	快速法蘭密封
11	溫度曲線	30段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)
12	預(yù)存曲線	可預(yù)存15條溫度曲線
13	超溫報警	有
14	過流保護	有
15	斷偶提示	有
16	測溫元件	K型熱電偶
17	爐膛材料	氧化鋁纖維
18	外形尺寸	15006001000MM
	射頻電源功率
1	信號頻率	13.56 MHz±0.005%
2	功率輸出范圍	5W-300W
3	功率穩(wěn)定度	±0.1%
4	整機效率	>=70%
5	功率因素	>=90%
6	冷卻方式	強制風(fēng)冷
	真空部分
1	功率	500W
2	抽氣速率	2L\s
3	極限真空	4X10^-2Pa
	氣路系統(tǒng)
1	1～3路質(zhì)量流量計可選（七星華創(chuàng)）
2	準(zhǔn)確度：±1.5%
3	重復(fù)精度：±0.2%
4	工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
	整機系統(tǒng)特色
1	正壓測量	-100Kpa---100Kpa
2	真空測量	10^-2Pa～100Kpa（支持Ar測量）
3	正壓保護	支持
4	壓力恒定	支持
5	智能氣路	支持
6	氣路定時	支持
7	射頻工作時間設(shè)定	支持
8	移動速度調(diào)節(jié)	支持
9	系統(tǒng)最高真空度	4.8×10^-3Pa
10	軟件功能	1：射頻電源開啟時間，可以設(shè)定，時間到后自動停止射頻電源。 2：自動切換氣體功能，不同溫度通入不同氣體，或者根據(jù)要求進行定做（選配） 3：自動檢測真空度，根據(jù)真空度的大小，自動啟動射頻電源。 4：真空泵自動啟動，根據(jù)真空度，系統(tǒng)自動判斷是否需要啟動真空泵。 5.超壓保護。 6.其他功能根據(jù)要求定做

ꄴ前一個： 1200℃雙溫區(qū)管式爐

ꄲ后一個：小型RTP快速退火爐

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