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小型RTP快速退火爐
型號:RTP1000S 此款小型快速退火爐是集成儀巧妙的結(jié)構(gòu)設(shè)計和獨特的加熱方式與一體,使得體積和功率都大幅減小的同時,升降溫速率卻比傳統(tǒng)退火爐提升了數(shù)倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空,滿足了很多用戶對小樣品快速退火的工藝要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火
Ø 石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長
Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 擴散 (Diffusion);
Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 電極合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);
主要特點
Ø 極速升溫20℃/S,極速降溫20℃/S;
Ø 控溫穩(wěn)定,恒溫精度≤1℃
Ø 體積小巧,使用功率只有1kw;
Ø 高光線反射效率,無需爐膛保溫;
產(chǎn)品名稱 | 小型快速退火爐 |
產(chǎn)品型號 | RTP1000S |
極限溫度 | 1000℃ |
額定溫度 | 1000℃ |
控溫精度 | ±1℃ |
最快升溫速率 | 20℃/S(900-1000℃升溫3-5℃/S) |
最快降溫速率 | 隨爐冷卻75℃/min 物料臺拉出降溫800℃/min |
控制方式 | 智能PID |
加熱方式 | 短波紅外線加熱 |
加熱腔體結(jié)構(gòu) | 石英管 |
樣品冷卻 | 自然冷卻或通入冷卻氣體 |
冷卻氣體調(diào)節(jié) | 浮子流量計(100~1000ml/min)(選配) |
超溫保護 | 溫度出現(xiàn)過高時切斷主回路 |
恒溫區(qū)尺寸 | 35mm |
載料體尺寸 | 30*25mm |
傳感器類型 | K型 |
真空系統(tǒng) | 1L/S 雙級聯(lián)真空系統(tǒng) CHY-4C(選配) |
整機真空度 | 3Pa(選配CHY-4C真空泵) |
抽氣端口尺寸 | KF25 |
供氣口尺寸 | 1/4英寸雙卡套 |
額定功率 | 1.5kw |
額定電壓 | AC220V,50Hz |
重量 | 15kg |
配件 | 坩堝鉗1把,說明書1本。 |
外形尺寸 | 610x400x410(長*寬*高) |
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